FMA5400A/5500A系列電子氣體質(zhì)量流量計可控制0~10 SCCM范圍內(nèi)高達100 SLM的多種氣體的流量。FMA5400A/5500A利用通過加熱管進行的熱傳遞測量氣體流量，可提供直接的氣體質(zhì)量流量測量值，并且無需對（規(guī)定限值以內(nèi)的）氣體溫度或壓力進行補償。

該產(chǎn)品可提供經(jīng)濟型鋁／銅結(jié)構(gòu)，適合測量普通氣體流量，同時可提供316不銹鋼結(jié)構(gòu)，適合有更高耐腐蝕要求的應(yīng)用。不帶一體式顯示屏的FMA5400A系列流量計具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模擬量輸出，以便進行遠程監(jiān)測；FMA5500A系列流量計兼具一體式3-1/2位數(shù)字顯示屏和模擬量輸出。顯示屏可傾斜90度，查看讀數(shù)方便。顯示屏經(jīng)過校準，可直接顯示以SCCM或SLM為單位的氮氣流量（您可以通過專門訂購來獲得其它氣體校準）。

FMA5400A/5500A質(zhì)量流量控制器具有內(nèi)置常閉電磁閥，無論入口壓力或出口壓力如何變化，都能保持流量恒定。設(shè)定值可通過電位計（電位計可通過外殼中的訪問窗口訪問）進行本地控制，也可通過0-5 Vdc或4~20 mA模擬信號（現(xiàn)場可選）遠程控制。

FMA5400A/5500A系列需要使用12~26Vdc電源（zui大電流800 mA），F(xiàn)MA545PW墻壁插入式插座電源可滿足其要求。12~15 Vdc功率@ 800 mAzui大值（限43、44、45的規(guī)格）。型號為FMA545C（單獨提供）的配件提供配接式15針""D""型連接器，帶8英尺屏蔽電纜用于訪問模擬輸出信號和電源輸入連接。FMA5500A系列配備的LCD通過通訊插頭與下面的電子設(shè)備相連。通過購買FMA18RC遠程電纜組件可以遠程安裝LCD，之后，您必須自行組裝組件以便進行LCD的面板安裝。

產(chǎn)品規(guī)格

精度：

 對于滿量程小于100 SLM ±1% FS的裝置，在15~25°C（59~77℉）和0.7~4.2 kg/cm2（10~60 psia）下具有線性度。

 對于≥100 SLM的裝置，滿量程：±1.5% FS，在15~25°C（59~77℉）和 0.7~4.2 kg/cm2（10~60 psia）下在20~100%的范圍內(nèi)具有線性度；在0~20%的范圍內(nèi)為±3% FS。

重復(fù)性：0.5％滿量程

溫度系數(shù)：0.15% FS/°C

壓力系數(shù)：0.01% FS per psi (0.07 bar)

zui大壓降：50 psid

響應(yīng)時間：在25％~100％FS范圍內(nèi)，5秒處于設(shè)定流量的±2%范圍內(nèi)

zui大氣壓：70 kg/cm2表壓（1000 psig）（適用于zui高100 SLM的裝置）； 35 kg/cm2表壓（500 psig）；zui佳1.76 kg/cm（25 psig）

氣體和環(huán)境溫度：5~50°C（41~122℉）

泄露率：對外界環(huán)境的zui大泄漏率為1×10-7 cc/sec氦氣

接液材質(zhì)：

 鋁制流量計：陽極氧化鋁，316 SS，黃銅和FKM O形圈

 不銹鋼型號：316 SS 和 FKM O型圈

輸出信號：

 線性0~5 Vdc：1000 Ωzui小負載

 4~20 mA：50~500 Ω 環(huán)路電阻，±20 mV zui大噪聲

傳感器電源：12~26 Vdc @ 800 mA 標準 量程比：40:1

裝運重量：1.8 kg (4 lb)

合規(guī)性：EN55011 1類，B類；EN50082-1

海拔靈敏度：水平流徑，傾斜到20°，校準也不會發(fā)生偏移

氣體相對濕度:0~70% RH

zui小壓降

SLM	≤9	10-30	50	60~100	200	500	1000
psid	1.1	3.9	8	18.9	10	12	15

訂貨信息：

質(zhì)量流量控制器 Al/Br主體 含顯示器	質(zhì)量流量控制器 316 SS body 含顯示器	質(zhì)量流量控制器 Al/Br主體 不含顯示器	質(zhì)量流量控制器 316 SS body 不含顯示器	Zui大流量
FMA5502A	FMA5502A-ST	FMA5402A	FMA5402A-ST	10 SCCM
FMA5504A	FMA5504A-ST	FMA5404A	FMA5404A-ST	20 SCCM
FMA5506A	FMA5506A-ST	FMA5406A	FMA5406A-ST	50 SCCM
FMA5508A	FMA5508A-ST	FMA5408A	FMA5408A-ST	100 SCCM
FMA5510A	FMA5510A-ST	FMA5410A	FMA5410A-ST	200 SCCM
FMA5512A	FMA5512A-ST	FMA5412A	FMA5412A-ST	500 SCCM
FMA5514A	FMA5514A-ST	FMA5414A	FMA5414A-ST	1 SLM
FMA5516A	FMA5516A-ST	FMA5416A	FMA5416A-ST	2 SLM
FMA5518A	FMA5518A-ST	FMA5418A	FMA5418A-ST	5 SLM
FMA5520A	FMA5520A-ST	FMA5420A	FMA5420A-ST	10 SLM
FMA5523A	FMA5523A-ST	FMA5423A	FMA5423A-ST	15 SLM
FMA5524A	FMA5524A-ST	FMA5424A	FMA5424A-ST	20 SLM
FMA5526A	FMA5526A-ST	FMA5426A	FMA5426A-ST	30 SLM
FMA5527A	FMA5527A-ST	FMA5427A	FMA5427A-ST	40 SLM
FMA5528A	FMA5528A-ST	FMA5428A	FMA5428A-ST	50 SLM
FMA5540A	FMA5540A-ST	FMA5440A	FMA5440A-ST	60 SLM
FMA5541A	FMA5541A-ST	FMA5441A	FMA5441A-ST	80 SLM
FMA5542A	FMA5542A-ST	FMA5442A	FMA5442A-ST	100 SLM
FMA5543	FMA5543-ST	FMA5443	FMA5443-ST	200 SLM
FMA5544	FMA5544-ST	FMA5444	FMA5444-ST	500 SLM
FMA5545	FMA5545-ST	FMA5445	FMA5445-ST	1000 SLM

配件：

型號	描述
FMA545C	15針D型母頭連接器，含8英尺屏蔽電纜
FMA545PW	100-240 Vac 插座式插接電源
FMA545PW-220VAC	220 Vac 插座式插接電源，歐式插頭
FMA545C-10	15針D型母頭連接器，含10英尺屏蔽電纜
FMA545C-12	15針D型母頭連接器，含12英尺屏蔽電纜
FMA545C-18	15針D型母頭連接器，含18英尺屏蔽電纜
FMA545C-25	15針D型母頭連接器，含25英尺屏蔽電纜
FMA18RC10	10英尺電纜，適用于遠程LCD安裝
FMA18RC25	25英尺電纜，適用于遠程LCD安裝

注：* 帶有 20/50 FNPT 連接，而不是壓縮接頭。配有壓縮接頭、NIST 證書和操作手冊。

電源單獨出售。

指定的流量范圍適用于25 psig入口（高達60 SLM）或100 psig入口（0至21 SLM 單位）和 1 psig 出口處的氮氣或空氣。當與其他氣體一起使用時，使用倍增因子來確定流速，并且必須在現(xiàn)場重新調(diào)整數(shù)字顯示。

要請求自定義校準，請將氣體縮寫和入口壓力/出口壓力作為型號的后綴添加。

校準僅在環(huán)境溫度下進行，70.125℃（<>℉）

對于氧氣清潔裝置，請在型號中添加后綴“-C”;需額外費用。